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| 「マグフロート・ＫＳシリーズ」はこれまでの除振台に比べ、飛躍的な除振効果を得ることができる、マグネット浮上による空間維持タイプの除振台です。微振動を嫌う電子顕微鏡や微小硬度計、表面粗さ計などに幅広く利用でき、精密測定機器用除振台の標準型といえます。 |
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都市の進化に伴い、ますます多様化する建築空間。
光・熱・空気・音など快適性を追及する環境ニーズも高度化しています。精密測定の分野でも測定環境が変化しており、静かで低周波の少ない良好な環境だけでなく、防振対策が万全でない環境のもとでも測定を余儀なくされています。 |
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磁気浮上型除振台のマグフロートは次の特許権を取得しています。
日本：No.1106715 米国：No.4314623
英国：No.GB2097096B ドイツ：No.P3213344 |
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交通量の多い道路沿いのビル…
大型トラック等の影響 |
振動源がある実験室…
コンプレッサ、自動ドア等の影響 |
海岸線、埋立地等…
近隣の工場の影響 |
高層ビル…
高層ビルの床振動 |
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特殊永久磁石で長期使用も安心 |
| マグネットサスペンション方式の磁気ダンパー（日、米、英、独の特許取得）を採用しているので、搭載機器を空間で維持し、低周波から高周波まで広範囲の振動を効果的に遮断します。磁力低下がほとんどない特殊永久磁石を使用しているので、長期間搭載したままでも、持久力はほとんど変化しません。（１０年間で約３％の減磁） |
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磁気が漏れない設計 |
磁気ダンパーは閉磁路を構成する設計を採用しているので、漏洩磁束がほとんどなく搭載機器に悪影響を与えることはありません。（盤面１ｃｍ以下では、極度に０ガウスに近いため測定不能です）
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メンテナンスフリー、クリーンルームでの使用に最適 |
| エアー、オイル、電源などを使用しないので、メンテナンスが不要です。また、汚れやホコリなどの発生がなく、クリーンルームでの使用に最適です。付属機器がまったくないテーブルトップタイプなので、簡単に移動ができます。 |
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上盤部表面に高級ＳＵＳを採用 |
上盤部表面に高級ＳＵＳを採用しているので、防塵・防錆効果が高く、各種薬品による影響がほとんどありません。また、マグネットスタンド等の設置も可能です。
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各種精密機器に広範囲に適用 |
| 標準品をベースにテーブルサイズ、ボルト穴開け加工などができるので、振動を嫌うあらゆる精密機器に対応することが可能です。 |
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除振台マグフロートは磁気の反発・吸収力を応用して、外部振動エネルギーを空間減衰する機構を採用しています。従来のバネやエアーによる機構のものに比べ共振による振動増幅が小さいので、広範囲の周波数による振動に効果的に作用、優れた除振・減衰特性を示します。
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除振台マグフロートに使用している
マグネットサスペンションの周波数特性 |
除振効果 |
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１.マグネットサスペンションの原理
従来の防振装置は、空気バネやゴム、金属スプリングなどを素材として作られているため、振動源及び振動する床と防振しようとする目的機器とがその素材でつながっており、その素材を介して防振しようとする機器に振動が若干伝達されてしまう。
除振台マグフロートは、磁石の反発力と吸引力を効果的に組合わせて、防振しようとする機器を、振動する床と、振動発生源から完全に空間に浮上させるというもので、従来の防振台とは根本的に相違した画期的な方法により、安定且つ減衰特性に優れた防振を実現させた 。
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２.除振台マグフロートの実用化
磁石の反発で振動をきらう機器を空中で防振支持した場合に、アブソーバーの無接触かが起こり、これを粘性抵抗の大きい磁石の吸引力でダンピングすることで優れた減衰特性が生まれ、除振台として成功しました。 ※反発素子だけのフワフワ状態を磁石の吸引力で解決しました。
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〔参考〕 防振用素材の特性
| (１)金属スプリング |
･･･ |
質量が大きいため高周波領域で共振現象が発生する。 |
| (２)コルク、フェルト |
･･･ |
固有振動数が変化するため高周波領域でないと防振効果が発揮されない。 |
| (３)ゴム |
･･･ |
弾性と適度の内部損傷を利用し、広範囲にわたり振動の絶縁性に優れているが熱、酸素、力学的刺激により劣化現象をおこし、機能を悪化する欠点もある。また、要求される防振性能の高度化に伴い適応不可能なケースも増えてきた。 |
| (４)空気バネ |
･･･ |
空気バネは絶縁周波数の範囲が非常に広く極めて優れた防振性能を発揮するが、空気だけで防振台を作ることはできないので構造が複雑で規模が大きくなる欠点がある。 |
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３.マグネットサスペンションの構造
除振台マグフロートに使用されているインシュレーター(浮上素子)の構造をFig1とFig2に示します。 インシュレーター内部の永久磁石は、Fig2に示す通り同心円に着磁されており、これは磁化されたセンターに浮遊する心棒によってガイドされ、インシュレーターは無接触で浮遊します。
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Fig1 |
Fig2 |
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除振台マグフロートは
①磁石の同極対向による反発力(SUSPENSION)
②磁石の異極対向による吸引力(DAMPING)
③計測テーブルおよび搭載機器の重量(MASS)
の３つの力を機構的にバランス良く配置し、しかも漏洩磁束をうまくシールドして、これを内部の力として利用することで、安定性に優れた防振を実現した。 |
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振動を嫌う機器すべてが対象となるが、特に次の機器に対して有効である。
| ①ウルトラミクロトーム |
②顕微鏡 |
③電気マイクロメータ |
④精密天秤 |
| ⑤レーザー機器 |
⑥分析機器 |
⑦粗さ計 |
⑧音響機器 |
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表面粗さ計 |
硬度計 |
電子天秤 |
■その他
ミクロトーム
光学顕微鏡 |
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| 型 式 |
載重量 |
外形寸法※ |
本体重量 |
| ＫＳ－５ |
5～20kg |
500×500×130mm |
23kg |
| ＫＳ－５Ｈ |
15～40kg |
500×500×130mm |
28kg |
| ＫＳ－５４０ |
5～20kg |
500×400×130mm |
25kg |
| ＫＳ－５３５ |
10～40kg |
500×350×130mm |
25kg |
※外形寸法には、ネジなどの突出部は含まれていません。
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ＫＳ－５ |
特注タイプの製作例
サイズ変更、貫通、タップ加工など |
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